题目
更新时间:2024-08-19 12:27:56
求解答,词语磁控溅射是什么意思?再说说磁控溅射有什么含义?答案
磁控溅射的词语属性
拼音cí kòng jiàn shè
拼音字母ci kong jian she
拼音首字母ckjs
磁控溅射的百科含义
磁控溅射是物理气相沉积(Physical Vapor Deposition,PVD)的一种。一般的溅射法可被用于制备金属、半导体、绝缘体等多材料,且具有设备简单、易于控制、镀膜面积大和附着力强等优点。上世纪 70 年代发展起来的磁控溅射法更是实现了高速、低温、低损伤。因为是在低气压下进行高速溅射,必须有效地提高气体的离化率。磁控溅射通过在靶阴极表面引入磁场,利用磁场对带电粒子的约束来提高等离子体密度以增加溅射率。