题目
更新时间:2024-08-10 17:58:25
求解答,词语防护环是什么意思?再说说防护环有什么含义?答案
防护环的词语属性
拼音fáng hù huán
拼音字母fang hu huan
拼音首字母fhh
防护环的百科含义
:一种用于淀积机台的防护环。当晶片配置于淀积机台上,且防护环配置于晶片周围时,防护环邻近晶片的顶面不低于晶片顶面。此外,当晶片配置于淀积机台上,且防护环配置于晶片周围时,防护环与晶片之间的间距小于0.7毫米。本发明的防护环可使得薄膜在晶片侧壁不会形成侧边淀积的现象,因此可提高薄膜淀积工艺的平坦度与良率。